詳情：

性質

    分子量：135.43

    熔點（101.325kPa）：-134℃；沸點（101.325kPa）：31.8℃；液體密度(0℃）：1350kg/m3；相對密度（氣體，空氣=1）：4.7；蒸氣壓(-16.4℃）：13.3kPa；（14.5℃）：53.3kPa；燃點：-14℃；自燃點：104.4℃；閃點：-27.8℃；爆炸極限：6.9～70%；毒性級別：3；易燃性級別：4；易爆性級別：

化學性質

    三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2．HCl和Cl2：

    SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。它的熱穩定性比二氯硅烷好，在900℃時分解產生氯化物有毒煙霧（溫狀態三氯氫硅HCl），還生成Cl2和Si。

    遇潮氣時發煙，與水激烈反應：2SiHCl3+3H2O—→ (HSiO)2O+6HCl

    在堿液中分解放出氫氣:SiHCl3+3NaOH+H2O—→Si (OH)4+3NaCl+H2

    與氧化性物質接觸時產生爆炸性反應。與乙炔、烴等碳氫化合物反應產生有機氯硅烷：

    SiHCl3+CH≡CH一→CH2CHSiCl3 、SiHCl3+CH2=CH2—→CH3CH2SiCl3

    在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會著火。可溶解于苯、醚等。無水狀態下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕，但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。

    在高溫條件下，三氯氫硅能被氫氣還原生成硅 SiHCl3 +H2==1357K=Si +3HCl